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一、 刻蚀机 :北方华创、中微公司
二、 光刻机 :上海微电子(未上市),全球阿斯麦ASML一家独大。
三、 薄膜淀积 :PVD(化学气相沉淀) 北方华创 、CVD(物理气相沉淀) 拓荆科技
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